Es un sistema de fotolitografía que opera con resolución de hasta 1um con resina fotosensible a luz de 405nm de longitud de onda. Con área de grabado 149×149 mm permite procesar un gran tamaño de sustratos. La velocidad de grabado alcanza los 50 mm2/min. Posee un microscopio óptico 10X con cámara Olympus que permite alinear la litografía con marcas en los sustratos.
Quantum Design MicroWriter ML3
